《微細(xì)加工技術(shù)》雜志論文投稿要求:
Ⅰ、作者姓名的漢語拼音應(yīng)姓前名后,姓氏全部字母為大寫,名字的首字母大寫,雙名中間不加連字符不間隔;漢語拼音的作者姓名寫在英文表示的工作單位之前;多位作者的署名之間以逗號(hào)隔開;不同單位的作者姓名右上角加注序號(hào)。
Ⅱ、來稿摘要應(yīng)包含正文的目的、主旨、結(jié)論。
Ⅲ、編輯部實(shí)行稿件三審制,周期三個(gè)月。三個(gè)月后未接到本刊采用通知,稿件即可自行處理。請(qǐng)自留底稿,因人力與經(jīng)費(fèi)有限,來稿一律不退。
Ⅳ、文稿中的小標(biāo)題請(qǐng)依次使用:一、二、三、……;(一)(二)(三)……;1.2.3.……;(1)(2)(3)……;①②③……。
Ⅴ、參考文獻(xiàn)應(yīng)依照引用的先后順序標(biāo)出,根據(jù)文獻(xiàn)類型與文獻(xiàn)載體代碼(GB 3469)規(guī)定,以單字母方式標(biāo)識(shí)以下各種參考文獻(xiàn)類型。
雜志發(fā)文主題分析如下:
機(jī)構(gòu)名稱 | 發(fā)文量 | 主要研究主題 |
中國(guó)科學(xué)院 | 192 | 光刻;電子束曝光;曝光機(jī);電子束... |
上海交通大學(xué) | 129 | 微機(jī)電系統(tǒng);電系統(tǒng);機(jī)電系統(tǒng);ME... |
清華大學(xué) | 60 | 微細(xì);光刻;微細(xì)加工;離子束;聚... |
中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué) | 47 | 刻蝕;離子束;離子束刻蝕;光刻;... |
電子工業(yè)部 | 46 | 離子注入;注入機(jī);離子注入機(jī);半... |
中國(guó)科學(xué)院微電子研究... | 38 | 光刻;掩模;X射線光刻;電子束曝... |
中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精... | 34 | 光柵;MEMS;刻蝕;光刻;傳感 |
山東大學(xué) | 29 | 電子束;電子束曝光;曝光機(jī);電子... |
山東工業(yè)大學(xué) | 28 | 電子束曝光;曝光機(jī);電子束曝光機(jī)... |
華中理工大學(xué) | 26 | 刻蝕;濺射;半導(dǎo)體;等離子體;離... |
雜志往期論文摘錄展示
微細(xì)工件的高頻群脈沖ECLM試驗(yàn)研究
基于AFM的多圖層圖形加工
氨化Si基Ga2O3/Ta薄膜制備GaN納米線
基于多種群遺傳算法的膜系優(yōu)化設(shè)計(jì)
Al摻雜的ZnO薄膜的XPS譜和光學(xué)特性研究
90 nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)硅柵的干法刻蝕工藝研究
硅基鉑鈦夾層AAO多孔模版制備半導(dǎo)體量子線
微細(xì)電解加工中工具電極的制備及應(yīng)用
基于UV-LIGA技術(shù)的電磁型射頻MEMS開關(guān)的集成制作
雙向橫向熱執(zhí)行器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
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